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电子光学车间净化的净化车间解决方案
2021-12-09
光学微电子净化工程定义为将必定空间范围内空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等污染物扫除,并将室内温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电操控在某一需求范围内,而所给于特别规划的密闭空间。光学微电子净化工程亦名无尘室或
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