无尘室是污染操控的基础，是一间具有了空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。在无尘室极高的硅晶片制作链中，必须是一个无污染源的环境、超洁净的车间，硅晶片零件才能够正常批量出产。通风工程

乐发V1    我国的无尘室发展起步与国外相比较晚，近二十年来，跟着越来越多外企在国内开办或合资开办企业，一些高新技术对出产环境的要求进步，为了提高竞争力，各个职业也开端寻求无尘室的质量。

乐发V1    恒温恒湿中央空调系统工程,正确、合理的设计是确保无尘室安稳运转的前提，在实际运用中，不正确的保护操作和不规范的办理都会使无尘室的空气洁净度降低，形成无尘室指标达不到要求。因此，正确科学地进行无尘室保护和办理非常重要，而且这要从各方面来完善。

人员操控

    经测验剖析，无尘室的微污染中80%是工作人员带来的。当工作人员进出无尘室时尘土有显著增加，洁净度立刻劣化。因此在工作人员进入无尘室前要做好清洁擦洗等防尘动作，且企业也要对工作人员进行培训，并拟定相应的章程和制度等。

物品办理

    工作人员会带入尘土，那么一切的物料及设备也会影响无尘室的清洁。在物流和设备进入时，要做到不将任何微粒或微生物带入室内。工作人员要在无尘室内穿戴洁净衣服，用无尘纸擦洗物料和设备。转移时也要为地板铺上现已清洁过的不锈钢板，避免损坏地板。

环氧自流坪地面定期检查

乐发V1    对于无尘室中的各种设备，在无尘进入室内后，也要时常清洁灭菌，而且定期进行检查，避免无尘室内尘粒和微生物的产生、繁殖和停留。

体系构建和保护

    除了避免微尘进入，无尘室也要设置净化空调体系、水电体系、出产工艺设备等各类设备设备，来确保无尘室内的空气洁净度级别运用符合产品出产工艺的要求。在体系正常运转中，保护也是必不行少的。比如，空气过滤器是否疏通正常、密封垫是否牢固、送风机轴承的运转是否处于正常状态等。每一项都影响了体系的运转，因此不行遗漏。