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探讨光学微电子净化工程的电子光学车间净化

2022-06-29 14:39:22

光学微电子净化工程定义为将一定空间范围内空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等污染物扫除,并将室内温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音轰动及照明、静电操控在某一需求范围内,而所给于特别设计的密闭空间,电子光学车间净化。

  光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,已是半导体、精密制作、液晶制作、光学制作、线路板制作和生物化学、医药、食品制作等职业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术创新开展,关于产品的高精密度化、细小型化的需求更为火急。如超大型积体电路的研究制作,已成为世界各国在科技开展上极为重视的项。

乐发V1光学微电子净化工程一般包括:

1. 洁净生产区

乐发V12.洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)

乐发V13.管理区(包括办公、值班、管理和歇息)

乐发V14.设备区(包括净化空调体系应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)

电子光学车间净化

洁净车间所需材料电子光学车间净化

1. 净化厂房墙、顶板材一般多选用50mm厚的夹芯彩钢板制作,其特点为漂亮、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般选用专用氧化铝制作。

2.地面可选用环氧自流坪地坪或高档耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。

3.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。

乐发V14.高效送风口用不锈钢结构,漂亮清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。


电子光学车间净化解决方案:

乐发V1组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口。

组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中心段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。


优点:

A.空气处理效果好,因空气经过集中处理,在送风过程中被污染程度较低。送风的温度、湿度的操控比较精 确;

B.比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房;

C.空调冷热源可与厂房普通空调体系合用或独立冷热源;

D.维修频率较低;

E.车间的噪音低。


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