洁净室工程内的气流是左右无尘室性能的重要要素,一般无尘室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而搅扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一打乱之影响而坚持洁净度、但因风速的提高,将影响作业本钱的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以恰当的风速供应,以到达恰当的风速供应以到达经济性作用。
乐发V1另一方面欲到达无尘室洁净度之稳定作用,均一气流之坚持亦为一重要要素,均一气流若无法坚持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延着壁面产生涡流作用,此刻要完成高洁净度事实上很困难。
乐发V1垂直层流式方向要坚持均一气流有必要:(a)吹出面的风速不行有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不行有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象产生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,(21世纪80、90年代)一般无尘室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
乐发V1影响无尘室的气流要素很多,如制程设备、人员、无尘室拼装材、照明用具等,一起对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑要素。
乐发V1一般操作台或生产设备等外表的气流分流点,应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员作业时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点装备在制程区前方,将成为不妥的气流分流,此刻大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后边,作业台因此将受到污染,良率也必然降低。
乐发V1洁净室工程内的作业桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象产生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在作业桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少低;拼装资料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要要素。
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