乐发V1十万级净化车间净化工程原理

乐发V1气流—初效空气处理—空调—中效空气处理—风机送风—净化管道—高效送风口—洁净室—带走尘埃—回风夹道—新风。

不同等级设计参数：十万级净化车间

乐发V1换气次数：十万级10-15次/小时；万级15-25次/小时；千级50-52次/小时；百级操作台断面风速0.25-0.35m/s

压差：主净化车间对相邻车间≥ 5Pa

乐发V1温度：冬季＞ 16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃； 

乐发V1相对湿度：45－65％（RH）；噪声≤65dB（A）；新风补充量：总送风量的20％－30％；        

照度：≥300Lux。

乐发V1关于怎么开启净化空调、空气过滤器多长时间替换等一系列工作，净化拟定一套无尘车间设备开启、保养计划。

一、步入无尘车间前期预备工作；1. 进入无尘车间前，有必要经过净化工程公司专业培训。2. 进入无尘车间禁止吸烟，吃(饮)食，十万级净化车间外来杂物(如报章，杂志，铅笔...等)不行携入，并禁止嘻闹奔跑及聚会谈天。3. 进入无尘室前，需在规则之场所脱鞋，将鞋置于鞋柜内，外衣置于衣柜内，私人物品置于私人柜内，柜内不行放置食物。4. 进入无尘室须先在更衣室，将口罩，无尘帽，无尘衣以及鞋套按规则依程序穿戴整齐，再经空气洗尘室洗尘，并践踏除尘地毯(洗尘室地板上)方得进入。5. 戴口罩时，应将口罩戴在鼻子之上，以将口鼻孔盖住为原则，防止呼吸时污染芯片。6. 穿著无尘衣，无尘帽前应先收拾服装以及头发，防止着上无尘衣后，不得收拾又感不适。7. 整肃仪容后，先戴无尘帽，无尘帽的穿戴原则系:(1)头发有必要完全掩盖在帽内，不得外露。(2)无尘帽之下摆要平散于两肩之上，穿上工作衣后，方不致下摆脱出，露出肩颈部。8. 无尘帽戴妥后，再着无尘衣，无尘衣应尺吋合宜，才不致有裤管或衣袖太短而露出皮肤之虞，穿衣时应留意帽之下摆应保平整之状况，无尘衣不行反穿。 洁净网- ]r1O w:w9*42w+BV9. 穿著无尘衣后，才着鞋套，拉上鞋套并将鞋套整平，确实盖在裤管之上。10. 戴手套时应防止以光手碰触手套之手掌及指尖处(防止钠离子污染)，戴上手套后，应将手套之手腕置于衣袖内，以阻隔污染源。11. 无尘衣着妥后，经洗尘，并践踏除尘毯，方得进入无尘室。12. 不管进入或离开无尘室，须按规则在更衣室脱无尘衣，不行在其它区域为之，尤不行在无尘室内边走边脱。13. 无尘衣，鞋套等，应定期清洗，十万级净化车间有破损，脱线时，应即换新。14. 脱下无尘衣时，其次序与穿著时相反。15. 脱下之无尘衣应吊好，并放于更衣室内上层柜子中;鞋套应放置于吊好的无尘衣下方。16. 更衣室内小柜中，除了放置无尘衣等规则物品外，不得放置其它物品。17. 除规则纸张及物品外，其它物品一概不得携入无尘室。18. 无尘衣等不得携出无尘室，用毕放置于规则场所。19. 口罩与手套可视状况自行保管或重复运用。20. 任何东西进入无尘室，有必要用洒精擦洗洁净。21. 任何设备的进入，请知会管理人，在无尘室外擦洗洁净，方可进入。22. 未通过查核之仪器，禁止运用，若遇紧迫情况，得依紧迫处理步骤作恰当处理，例如封闭水、电、气体等开关。

23. 无尘室内肯定不行动火，防止发生意外。二、无尘室操作须知1.   处理芯片时，有必要戴上无纤维手套，运用清洗过的洁净镊子挟制芯片，请勿以手指或其它任何东西触摸芯片，遭碰触污染过的芯片须经清洗，方得持续运用：(1) 任何一支镊子前端(即挟制芯片端)如被碰触过，或是镊子坠落地上，有必要拿去清洗请勿用纸巾或布擦洗脏镊子。(2) 芯片清洗后进行下一程序前，若被手指碰触过，有必要从头清洗。(3) 把芯片放置于石英舟上，预备进炉管时，若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染，有必要将芯片从头清洗，并当即替换洁净的镊子运用。2. 芯片有必要放置盒中，盖起来存放于规则方位，尽可能不让它露出。3. 防止在芯片上说话，以防止唾液溅于芯片上，在芯片进分散炉前，请特别留意，防止上述动作产生，若芯片上沾有纤维屑时，用氮气枪喷之。4. 从铁弗龙(Teflon)晶舟，石英舟(Quartz Boat)等载具(Carrier)上，取出芯片时，有必要笔直向上挟起，防止刮伤芯片，显微镜镜头确已离芯片，方可从吸座上移走芯片。5. 芯片上，若已长上氧化层，在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。6. 操作时，不管是否戴上手套，手绝不能放进清洗水槽。 7. 运用化学站或烤箱处理芯片时，有必要将芯片置放于铁弗龙晶舟内，不行运用塑料盒。8. 摆置芯片于石英舟时，若芯片坠落地上或手中则有必要从头清洗芯片，然后再进氧化炉。9. 请勿触摸芯片盒内部，如被碰触或有碎芯片污染，有必要重作清洗。10. 手套，废纸及其它杂碎东西，请勿留置于操作台，手套若烧焦、磨破或纤维质变多有必要换新。11. 非经指示，绝不行开启不熟悉的仪器及各种开关阀操控钮或把手。12. 奇怪的味道或反响异常的溶液，颜色，动静等请即告诉相关人员。13. 仪器因操作错误而有任何损坏时，有必要立刻告知负责人员或教师。14. 芯片盒进出无尘室须保持洁净，并以保鲜膜封装，违者不得进入。15. 无尘室内一律运用原子笔及无尘笔记本做记录，一般纸张与铅笔不得携入。三、黄光区操作须知1. 湿度及温度会影响对准工作，在黄光区应留意温度及湿度，并应削减对准机邻近的人，以削减湿、温度的改变。2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得携出黄光区防止感光。3. 己上妥光阻，而在等待对准曝光之芯片，应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内， 盒盖有必要盖妥。4. 光罩运用时应持取边际，不得触及光罩面，任何状况之下，光罩铬膜不得与他物触摸，以防刮伤，光罩之落尘可以氮气枪吹之。 5. 曝光时，应防止用眼睛直视曝光机汞灯。四、镊子运用须知1. 进入实验室后，应先戴上手套后，再取镊子，防止沾污。2. 唯有运用洁净的镊子，才可持取芯片，镊子一旦掉在地上或被手触碰，或因其它原因而遭污染，有必要拿去清洗，方可再运用。