无尘车间工程的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定,在满意加工工艺的条件下,应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的进步,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到必定的温湿度等级。然而关于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需求坚持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的保持一般应契合以下原则:
1.无尘车间工程洁净度等级高的空间的压力要高于相邻的洁净度等级低的空间的压力。
乐发V12.相通洁净室之间的门要开向洁净度等级高的房间。
乐发V13.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
压力差的保持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义便是漏泄(或渗透)风量经过洁净室的各种缝隙时的阻力。
乐发V1「洁净室」是指将必定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物扫除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振荡及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。无尘车间工程亦便是不管外在之空气条件怎么改变,其室内均能俱有保持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等功能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个杰出之环境空间中出产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。
洁净室控管:?能防止微尘粒子之产生;温度和湿度之控制;有害气体之扫除;防制静电。
洁净室之分类
1.乱流式:空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入洁净室,并由洁净室两边隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。
2.层流式:水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下贱侧污染较严重;垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器掩盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所
乐发V13.复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供部分超洁净之空气。
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