为检查无尘车间作业正常所进行的各项测验中，其中一项就是对室内气流的检查。这是整个测验程序的组成部分。为了稀释或消除室内的悬浮污染，从而防止污染在室内的堆集，室内必须有充沛的气流活动。所以对气流必须进行检测。

在紊流洁净室中，无尘洁净车间风的运送和混合都是紊流方式进行的。为确保污染物被清楚，无尘车间的各个部分必须均实现良好的空气混合。

 在单向流无尘洁净车间中，为确保关键区域达到最洁净的水平，其送风直接来自高效过滤器。

无尘洁净室的气流速度/换气次数，一直是洁净室设计中受到重视的问题，跟着洁净室污染源的操控作用增加及末级过滤器效率的提高级，对有关标准、导则等提 出的推荐或参考值是否偏于保存，已有不少讨论;FFU在应用中人们忧虑的噪音、损坏修理等问题已在实践中得到解决，跟着FFU的不断改进，对是否采用 FFU回风系统也是个热门：悬浮分子污染(AMC)的操控在微电子及IC工业中已日益说到日程上来，受到重视。以下对这些问题的情况别离作归纳和分析。

无尘洁净室内必定洁净度下气流速度的确认，随洁净室用处等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他要素影响，就工业洁净室而言，影响洁净度及选择气流速度的要素主要是：

乐发V1(1)室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒开释源，根据具体情况而异，改变很大;

(2)室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备安置和方位变化及人员活动情况等的搅扰形成部分涡流;而非单向流要求充混合，防止死角及温度分层。